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真空環(huán)境下精密位置傳感器的研制

精密位置傳感器，將在高真空或超高壓操作（超高真空）環(huán)境必須精心構(gòu)建以低蒸汽壓材料以避免出氣。微觀意義上已經(jīng)準(zhǔn)備在真空環(huán)境操作的傳感器相當(dāng)?shù)慕?jīng)驗(yàn)，請(qǐng)與您的具體要求與我們聯(lián)系。我們的探針已成功地應(yīng)用于FIB（聚焦離子束）系統(tǒng)、掃描電子顯微鏡系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)和各種大型實(shí)驗(yàn)物理項(xiàng)目中。



線性位置測(cè)量范圍從10微米到4毫米。

玻璃金屬探針提供低釋氣和高穩(wěn)定性。探頭體積小，以減少真空室的表面積。

真空制備的圓柱形探頭使用真空兼容的材料和粘合劑，并提供幾乎零的散熱探頭。

探頭有非磁性結(jié)構(gòu)。

提供幾種風(fēng)格的室壁的引線

真空制備的探頭可用于4800系列和8800系列精密位置傳感器。