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對(duì)于定位–微型電容式位置傳感器

微觀意義上的迷你是一個(gè)緊湊的，高分辨率的線性位移傳感器專為伺服系統(tǒng)的反饋，特別是OEM應(yīng)用。





微觀意義上的迷你是精密直線位移傳感器具有納米級(jí)分辨率的測(cè)量范圍可達(dá)毫米。迷你是理想的短途旅行，精密定位應(yīng)用-提供位置反饋的機(jī)制，如壓電驅(qū)動(dòng)定位階段，微執(zhí)行器，掃描探針顯微鏡階段。基于先進(jìn)的電容式傳感技術(shù)，微觀意義上的迷你使用任何接地，導(dǎo)電面為目標(biāo)–沒(méi)有線性尺度或鏡子是必需的–提供移動(dòng)目標(biāo)的直接測(cè)量。



納米級(jí)分辨率的精密級(jí)范圍可達(dá)200µM

高精度，快速響應(yīng)- 0.02%全量程線性是典型的，沒(méi)有周期性誤差或滯后。

與任何導(dǎo)電靶、材料或成品一起工作對(duì)精度沒(méi)有影響。

用超小型傳感器頭直接測(cè)量目標(biāo)，消除ABB偏移誤差

安裝方便-傳感器頭安裝在一個(gè)簡(jiǎn)單的精密孔

“機(jī)內(nèi)”校準(zhǔn)的串行通信端口

小型配置的微觀意義

微觀意義上的迷你包括一個(gè)緊湊的電子模塊（解調(diào)器），連接電源，模擬傳感器的輸出和一個(gè)串行端口。

檢測(cè)到目標(biāo)的傳感器頭通過(guò)1.5米長(zhǎng)的電纜連接到電子模塊。

傳感器的各種尺寸是可用的-傳感器的大小取決于所需的測(cè)量范圍和分辨率。

可選的低噪聲隔離電源可用。