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精密電容傳感器-型號(hào)6810

打破納米分辨率屏障-實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率快速響應(yīng)-高達(dá)100千赫帶寬！

該型號(hào)6810高分辨率電容傳感器提供最先進(jìn)的位置和位移測(cè)量性能。6810是專為高速旋轉(zhuǎn)或振蕩的目標(biāo)，如精密硬盤驅(qū)動(dòng)器主軸電機(jī)，精密空氣軸承主軸和機(jī)械軸承機(jī)床主軸的高動(dòng)態(tài)測(cè)量。應(yīng)用包括控制如軸向和徑向NRRO（非重復(fù)運(yùn)行或異步誤差運(yùn)動(dòng)）需要解決1至2 nm RMS或更好。





目標(biāo)表面光潔度或反射率對(duì)測(cè)量性能沒(méi)有影響。

完全非接觸式設(shè)計(jì)

亞納米測(cè)量分辨率的先進(jìn)低噪聲設(shè)計(jì)

高測(cè)量帶寬- 1千赫，5千赫，20千赫和100千赫可選擇的。

目前的5810型用戶可以立即提高測(cè)量性能。6810個(gè)是電兼容的“下降”更換用戶誰(shuí)希望升級(jí)現(xiàn)有的5810個(gè)系統(tǒng)-沒(méi)有設(shè)計(jì)變更是必需的。