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電容式薄膜壓力傳感器
電容式薄膜壓力傳感器
用于加工簡(jiǎn)單的薄膜壓傳感器
來源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發(fā)布時(shí)間:2014/11/12 22:38:28 | 瀏覽次數(shù):
壓電薄膜片有很多不同尺寸和厚度可供選擇,可以加工成若干簡(jiǎn)單的傳感器,或?qū)⒄麖埍∧ぶ谱鞒蓳P(yáng)聲器。薄的薄膜片(28和52μm)最為常見,因?yàn)樗麄兙哂休^高的電容和良好的機(jī)械品質(zhì)。厚膜(110μm)用于耐用,或需要傳感器的厚度方向(d33)的應(yīng)用。薄膜的金屬化方式包括銀墨和噴粉兩種。銀墨最適合機(jī)械應(yīng)力的應(yīng)用。使用銀墨金屬化可以按客戶要求定制,以方便接出引線。噴粉金屬化比較容易損壞,適用于信噪比要求電極產(chǎn)生的質(zhì)量負(fù)荷非常低的場(chǎng)合。標(biāo)準(zhǔn)的噴粉材料是700Å銅和100Å鎳,將銅鎳合金變成銅和鎳,具有更好的導(dǎo)電性和抗氧化性。也可以按客戶要求采用其他的金屬(例如:金)進(jìn)行金屬化。
TAG:壓電薄膜,PVDF,etouch
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