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F1032微流量傳感器
來(lái)源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發(fā)布時(shí)間:2020/3/29 15:39:16 | 瀏覽次數(shù):

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產(chǎn)品詳情
F1012微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對(duì)流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測(cè),具有很好的精度與重復(fù)性。內(nèi)置有溫度傳感器,每只都進(jìn)行專有的溫度補(bǔ)償校準(zhǔn);同時(shí)具有線性模擬電壓輸出,方便使用。

傳感器特點(diǎn)

新一代MEMS傳感器芯片技術(shù);

精度高,響應(yīng)速度快,重復(fù)性好;

可精確測(cè)量極小流量;

經(jīng)過(guò)完全校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償;

主要應(yīng)用

工業(yè)過(guò)程控制

空氣和環(huán)境保護(hù)

便攜式儀器

技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號(hào) F1012
量程① 20、30、50、100、200、500、1000、1200、2000sccm②
  最小 典型值 最大 單位
滿量程輸出 4.90 5.00 5.10 V
零流量輸出 0.96 1.00 1.04 V
輸出阻抗 - 200 - Ω
工作電壓 7.0 10.0 14.0 V
工作電流 15 25 30 MA
精度 - ±1.5 ±2.5 %F.S
重復(fù)性 - ±0.3 ±0.5 %F.S
年漂移③ - ±0.1 ±0.5 %F.S
耐壓④ - - 200 kPa
反應(yīng)時(shí)間 45 50 55 ms
工作溫度⑤ -25 - 65 ℃
儲(chǔ)存溫度 -40 - 90 ℃
注:

①可提供20-2000sccm之間任意量程,20、30、50、100、200、500、1000、1200、2000sccm為常規(guī)量程,其他量程收定制費(fèi)。

②sccm:standard-state cubic centimeter per minute,意義為標(biāo)況毫升每分鐘,標(biāo)況規(guī)定為:氣體溫度0℃ ;氣壓101.325 kPa;

③測(cè)試條件為室溫、清潔空氣。

④可提供耐壓為0.8MPa產(chǎn)品。

⑤溫度補(bǔ)償實(shí)校范圍為0℃-50℃,超過(guò)此范圍溫度補(bǔ)償效果不能保證。熱電堆傳感器生產(chǎn)廠家00
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