pv-6060微觀意義上的非接觸光電晶片厚度、TTV和電阻率測量模塊 高穩(wěn)定性在線太陽能硅片測量模塊，用于過程控制和質(zhì)量保證 pv-6060微觀意義上是一種高精度計(jì)量模塊提供太陽能硅片厚度測量無與倫比的吞吐量和穩(wěn)定性，晶片的總厚度變化（TTV）和硅片電阻率。所有測量都是完全非接觸的實(shí)時模擬輸出，無晶圓破損的高通量。設(shè)計(jì)簡單集成到自動化晶圓運(yùn)輸?shù)膒v-6060用OEM太陽能硅片制造在線檢測和分選系統(tǒng)。 非接觸式太陽能硅片測量 太陽能硅片的厚度和TTV–1或3測量軌道 太陽能硅片的電阻率 太陽能晶片P或N導(dǎo)電類型（可選） 效益 先進(jìn)的高穩(wěn)定性，低噪聲電容傳感器設(shè)計(jì)亞微米分辨率和非常重復(fù)厚度測量 非接觸式電容傳感器提供真正的晶圓表面測量-晶圓表面光潔度對厚度測量精度沒有影響。 5毫米直徑傳感器用于厚度測量，提供高空間分辨率和接近晶片邊緣的測量。 模塊化設(shè)計(jì)——OEM的靈活配置，為易于集成到現(xiàn)有晶圓傳輸系統(tǒng)和傳送帶系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。
