国产人成,1769视频在线观看_亚洲 欧洲 日产 经典_午夜福利中文字幕国产精选_未满十八18禁止免费无码网站_永久91亚洲中文天堂在线观看

用于平面控制的電容式傳感器

電容傳感器從微觀意義上廣泛使用的各種焦平面控制，或調(diào)零，在大氣和真空環(huán)境中的應(yīng)用。



這些應(yīng)用程序通常要求系統(tǒng)光學(xué)相對(duì)一部分在檢查在微米或亞微米級(jí)的重復(fù)定位，而在檢驗(yàn)時(shí)的光學(xué)系統(tǒng)下快速移動(dòng)。





圖1 -檢測(cè)硅晶片的表面-測(cè)量相對(duì)于光學(xué)的z中硅片的位置



在焦平面控制應(yīng)用中，位置傳感器既用作伺服回路的反饋傳感器，也用作獨(dú)立的位移測(cè)量裝置。它用于維護(hù)系統(tǒng)光學(xué)和被檢測(cè)部件之間所需的偏移量。





推薦產(chǎn)品

解調(diào)器傳感器系列應(yīng)用

用于焦點(diǎn)平面控制的4810型2800系列位置傳感器

型號(hào)8810 2800系列高分辨率位置傳感器用于焦平面控制