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用于距離和位移測量的電容傳感器
來源:薄膜壓力傳感器壓力分布 | 發(fā)布時間:2018/2/17 19:50:27 | 瀏覽次數(shù):

用于距離和位移測量的電容傳感器

在位移測量系統(tǒng)中,只有電容式傳感器提供了距離測量干涉儀的分辨率。由于電容式傳感器是完全非接觸,他們不會干擾通過接觸或通過添加質(zhì)量測量的目標。我們的傳感器作為位移測量系統(tǒng)的典型用途包括:



測量軸的軸向位移,精密滾珠絲杠和橫膈膜。

精密機構(gòu)和階段的重復性測量。

加工零件的非接觸尺寸測量。

精密軸承的測量



精密平面的平直度測量

微觀意義上的電容傳感器制作的直線度和平面度的高精度機床和階段直接測量提供了一種方法,而平均誤差在基于激光干涉儀系統(tǒng)。





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