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電容sensormicrosense，LLC，以前稱為幕墻技術(shù)，由三個(gè)主要業(yè)務(wù)–精密電容式傳感器、振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)和磁光克爾效應(yīng)（MOKE）的國(guó)家的最先進(jìn)的磁測(cè)量和晶圓測(cè)量系統(tǒng)的工具。直到公司被出售，在2009年11月，我們是KLA-Tencor公司的子公司，全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)和測(cè)量工具。微觀意義上是主機(jī)行業(yè)包括半導(dǎo)體設(shè)備、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、機(jī)床、太陽(yáng)能、汽車和高亮度LED。微觀意義提供了客戶價(jià)值和安全性，通過廣泛的商業(yè)經(jīng)驗(yàn)、資金實(shí)力、全球支持和技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)。



利用電容傳感器進(jìn)行高分辨率測(cè)量

由Robert C. Abbe創(chuàng)立于1967，我們的電容傳感器業(yè)務(wù)最初是ADE公司的一部分。艾德公司是以其遠(yuǎn)見和新穎的方法分辨率高，要求尺寸測(cè)量應(yīng)用的非接觸式測(cè)量。隨著時(shí)間的推移，ADE逐漸成為世界領(lǐng)先的裸半導(dǎo)體晶圓測(cè)量工具供應(yīng)商。高分辨率電容式傳感器的位置和位移測(cè)量（也被稱為“蓋片”）就等同于“門面”和我們的商標(biāo)名稱，“微觀意義”。



微觀意義提供了電容式傳感器和OEM計(jì)量模塊，基于專利的電容式感應(yīng)技術(shù)，使非常精確，高帶寬的測(cè)量，如太陽(yáng)能硅片、精密產(chǎn)品的藍(lán)寶石晶片、硬盤驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，空氣軸承主軸，精密X-Y階段、光盤、汽車部件、機(jī)床。我們的電容式位移傳感器提供了業(yè)界最高的分辨率，不到0.05納米，卓越的穩(wěn)定性和幾乎無(wú)限的使用壽命。



磁力測(cè)量獲獎(jiǎng)工具

微觀意義上的磁計(jì)量業(yè)務(wù)起步的數(shù)字測(cè)量系統(tǒng)（DMS）在25年前，并持續(xù)為ADE技術(shù)的一部分自1997。



我們?cè)诖判詼y(cè)量的世界級(jí)專家團(tuán)隊(duì)，微觀意義上是一種高靈敏度振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)進(jìn)行磁性測(cè)量的領(lǐng)先供應(yīng)商。我們的振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)有幾種模式具有多種功能，領(lǐng)域范圍，分辨率和選項(xiàng)。我們的VSM系統(tǒng)用于在世界學(xué)術(shù)界和商業(yè)界最有聲望的磁學(xué)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行基礎(chǔ)磁學(xué)研究。還提供了一系列在線生產(chǎn)磁性計(jì)量工具，以滿足當(dāng)今快速發(fā)展的硬盤存儲(chǔ)系統(tǒng)的嚴(yán)格要求。2012、微觀意義上推出了世界上第一臺(tái)300毫米準(zhǔn)備非接觸磁特性的測(cè)量工具（圖右）MRAM晶片的開發(fā)和制造。



晶圓尺寸測(cè)量的創(chuàng)新工具

藍(lán)寶石晶圓微觀意義表征提供了高靈敏度的測(cè)量工具、碳化硅和各種類型的半導(dǎo)體晶片。微觀意義上獲得西格瑪科技，公司坦佩，亞利桑那州2012年6月。通過此次收購(gòu)，微觀意義上說(shuō)領(lǐng)先的晶圓檢測(cè)工具對(duì)其創(chuàng)新的計(jì)量解決方案組合。西格瑪科技系統(tǒng)整合多種傳感技術(shù)如光學(xué)法、干涉法和西格瑪科技專利的自動(dòng)定位背壓（APBP）技術(shù)。