傳感器型號：6010N
應(yīng)用示例：
•晶圓拋光機(jī)設(shè)置
•化學(xué)機(jī)械拋光
特點(diǎn)：適用于直徑達(dá)12英寸的晶圓
要求：雙手柄或兩個VersaTek®手柄
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螺距
L W A MW MH CW碳鋼數(shù)量。RW RS數(shù)量。感光密度
美制（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（每平方英寸傳感器）
5620N 14.96 13.78 10.20 12.65 1.73 0.118 0.287 44 0.016 0.039 44 1936 88.4
5630N 14.96 9.84 10.20 8.66 1.73 0.118 0.197 44 0.016 0.039 44 1936 129.0
公制（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（每平方厘米傳感器）
5620N 380.0 350.0 259.0 321.2 44.0 3.0 7.3 44 0.4 1.0 44 1936 13.7
模型
總體
長度
總體
寬度
制表符
長度
矩陣
寬度
矩陣
高度
列行
總數(shù)
感官
馬薩諸塞州南波士頓西第一大街307號，郵編02127
傳感器型號：6020N/6030N
應(yīng)用示例：
•晶圓拋光
•載環(huán)調(diào)整
特征：
•適用于直徑為6“、8”和12“的晶圓
•四個感應(yīng)區(qū)域
要求：雙手柄或兩個VersaTek®手柄
分辨率
螺距
L W A MW MH CW碳鋼數(shù)量。RW RS數(shù)量。感光密度
美制（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（每平方英寸傳感器）
6010N 22.40 17.44 4.96 14.20 14.20 0.098 0.161 88 0.098 0.161 88 7744 38.4
公制（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（每平方厘米傳感器）
6010N 569.0 443.0 126.0 360.8 360.8 2.5 4.1 88 2.5 4.1 88 7744 5.9
一般尺寸感測區(qū)域尺寸
模型
總體
長度
總體
寬度
制表符
長度
矩陣
寬度
矩陣
高度
列行
總數(shù)
感官
馬薩諸塞州南波士頓西第一大街307號，郵編02127
傳感器型號：6077
應(yīng)用示例：車門密封件
特征：
•低壓應(yīng)用
•無通風(fēng)口
分辨率
螺距
L W A MW MH CW碳鋼數(shù)量。RW RS數(shù)量。感光密度
美制（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（每平方英寸傳感器）
6077 11.50 4.78 7.35 3.75 2.10 0.050 0.075 50 0.050 0.075 28 1400 177.8
公制（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（每平方厘米傳感器）
6077 292.1 121.3 186.8 95.3 53.3 1.3 1.9 50 1.3 1.9 28 1400 27.6
總體
長度
總體
寬度
制表符
長度
矩陣
寬度
列行
總數(shù)
感官
一般尺寸感測區(qū)域尺寸
模型
矩陣
高度
馬薩諸塞州南波士頓西第一大街307號，郵編02127
傳感器型號：6220/6230
應(yīng)用示例：
•緊固件、o型環(huán)、環(huán)形墊圈、螺栓、鉚釘和減震器
•類似于負(fù)載墊圈
特征：
•傳感器的中心孔可以“沖出”到任何尺寸，而不會損壞傳感器，從而安裝各種
螺栓尺寸
•內(nèi)部通風(fēng)口
模型
總體
長度
總體
寬度
制表符
長度
矩陣
身份證件
矩陣
外徑
平均靈敏度
空間分辨率
L W A MID MOD SW SA數(shù)量。RW RS數(shù)量。
美制（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（每平方英寸傳感器）
6220 10.00 3.01 7.47 0.25 2.00 0.020 6.916 45 0.010 0.025 36 1235 471.4
6230 11.00 4.03 3.29 0.80 2.95 0.010 6.400 51 0.010 0.025 44 2244 418.3
公制（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（每平方厘米傳感器）
6220 254.0 76.6 189.8 6.4 50.8 0.5 6.9 45 0.3 0.6 36 1235 73.1
6230 279.4 102.4 83.6 20.3 74.9 0.3 6.4 51 0.3 0.6 44 2244 64.8
輪輻環(huán)總數(shù)
感官
一般尺寸感測區(qū)域尺寸匯總
馬薩諸塞州南波士頓西第一大街307號，郵編02127
傳感器型號：6300
應(yīng)用實(shí)例：車門密封件、油底殼密封件和滾筒圓度測量
特征：
•傳感器可以從任何邊緣切割，使其更短或更窄，而不影響輸出
•內(nèi)部通風(fēng)口
分辨率
螺距
L W A MW MH CW碳鋼數(shù)量。RW RS數(shù)量。感光密度
美制（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（英寸）（每平方英寸傳感器）
6300 8.73 12.39 5.71 10.40 1.32 0.125 0.200 52 0.010 0.030 44 2288 166.7
公制（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（mm）（每平方厘米傳感器）
6300 221.7 314.6 145.0 264.2 33.5 3.2 5.1 52 0.3 0.8 44 2288 25.8
總體
長度
總體
寬度
制表符
長度
矩陣
寬度
矩陣
高度
一般尺寸感測區(qū)域尺寸
模型
列行
總數(shù)
感官
馬薩諸塞州南波士頓西第一大街307號，郵編02127
